QYResearch: 六氯乙硅烷领域销量大约98吨,占整个市场的87%




六氯乙硅烷,英文名称Hexachlorodisilane,简写HCDS, 是一种性能稳定、挥发性低的湿度敏感型液体。一般作为一种高纯度前体产品,HCDS在多种高级薄膜淀积(半导体存储和逻辑芯片制造技术)工艺中发挥着至关重要的作用,即在低温工况中替代硅烷或二氯甲硅烷应用于高品质氧化硅与氮化硅薄膜的淀积生产工艺中。



2015年,六氯乙硅烷市场已达9千万美元,年消费量超过100吨, 美国Dow Corning,日本Toagosei,德国Evonik,韩国Hansol Chemical,DNF是主要的生产商,且前五名生产商产量份额为66%,所以该行业为寡占型市场。


六氯乙硅烷市场作为CVD/ALD的前体,主要用在半导体行业,太阳能行业等,其中半导体行业是主要的应用领域,据市场调研机构恒州博智QYResearch调查,该领域2015年销量大约98吨,占整个市场的87%。


目前由于各国政府都在扶持半导体行业的发展,而在低温工况中替代硅烷或二氯甲硅烷应用于高品质氧化硅与氮化硅薄膜的淀积生产工艺中,所以我们预计六氯乙硅烷发展前景较好.


目前来说,据我们多角度调查,中国仍然没有六氯乙硅烷的生产企业,而消费市场主要靠进口维持。但是由于政府对半导体行业的支持,中国半导体前体市场前景明确,已有很多科研机构投入六氯乙硅烷的研发中。





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